Ministère de l'Enseignement Supérieur et de la Recherche Scientifique

Centre de Recherche
en Technologies Industrielles CRTI

crti

Equipe 4 : Mini Capteurs IDT

Chef d'équipe :

Directeur de Recherche

Membres d'équipe :

Attaché de Recherche
Attaché de Recherche

Projets de l'équipe :

1- Élaboration et Optimisation de Capteurs Interdigités IDT.


Ce projet consiste à maîtriser l’élaboration de mini capteurs ultrasonores afin de les intégrer dans une installation ou une structure dès sa fabrication.  L’objectif est d’assurer un suivi de l’état de santé d’une structure, en temps réel. Un des types des transducteurs les plus prometteurs est le transducteur interdigité IDT. Ces derniers présentent plusieurs avantages, la sélectivité de mode, la force d’excitation, directivité d’onde, la taille et son coût relativement faible.

Les matériaux utilisés pour les couches piézoélectriques sont, le ZnO (l’Oxyde de Zinc) qui est un excellent matériau sans plombs, mais présente de faible coefficient acoustique, et le PZT (Titanate Zirconate de Plomb) qui est le meilleur matériau piézoélectrique, d’autres matériaux peuvent être utilisés. Une technique de dépôt des couches piézoélectriques sur différent types de substrats, sera utilisée. Ces couches minces seront caractérisées par la technique de diffraction des RX, la microscopie électronique à balayage MEB,  la nano-indentation et l’ellipsométrie. La photolithographie permet de déposer les électrodes métalliques (IDT) qui sont en forme de peignes qui s’entrecroisent. Les paramètres  du design des doigts (largueur de recouvrement des doigts, la largeur des doigts, le nombre de paires de doigts) sera défini à partir d’une étude théorique des modes d’ondes et leurs fréquences de propagation les plus intéressantes pour un CSI. Le processus photolithographique passe par plusieurs étapes technologiques; nettoyage de substrats,  déshydratation,  centrifugation,  insolation,  révélation,  métallisation et  Lift-Off (le décollage).


Productions scientifiques :

Equipes

Divisions