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Ministère de l'Enseignement Supérieur et de la Recherche Scientifique

Centre de Recherche
en Technologies Industrielles CRTI


Equipe 47 : Electroacoustique et Microsystèmes

Chef d'équipe :

Maitre de Recherche Classe « B »

Membres d'équipe :

Maitre de Recherche Classe « B »
Attaché de Recherche
Attaché de Recherche
Attaché de Recherche

Projet de l'équipe :

1- Elaboration et Caractérisation des Couches Minces Piézoélectriques : Application aux Capteurs Electrostatiques


Ce travail présente une étude numérique et expérimentale pour la modélisation et la réalisation d'un dispositif à onde acoustique (SAW, BAW), pour la détection basées sur l'atténuation des ondes acoustiques pouvant se propager dans des matériaux piézoélectriques.

La première partie concerne la simulation par des approches numériques de la propagation des ondes acoustiques dans les couches minces piézoélectriques, ainsi la caractérisation électrique (Fréquence de résonance, facteur de couplage électromécanique…) d'un résonateur électroacoustique, selon sa configuration et le type de matériau.

La deuxième partie est dédiée à l'élaboration et la caractérisation des couches minces piézoélectriques pour l'application dans un dispositif électroacoustique. Cette étape est suivie d'une caractérisation expérimentale pour tester la conformité du dispositif, le travail se résume comme suit :

  • Simulation de la propagation des ondes acoustiques dans les matériaux piézoélectriques.
  • Modélisation d'un résonateur électroacoustique par des méthodes numériques.
  • Dépôt des couches minces piézoélectriques et leurs caractérisations.
  • Caractérisation expérimentale d'un résonateur électroacoustique.
  • L'étude de son intégration d'un dispositif électroacoustique dans un système sans fil.

Productions scientifiques :

Communications


Equipes

Divisions